高频加速度传感器测量频率的范围说明

　　高频加速度传感器工作原理会根据主体与惯性质体相对移动的检测方式的不同而有所差异。电容式传感器，主体与惯性质体是相互绝缘的，通过测量电容来检测加速度。当主体与惯性质体之间的距离减小时，电容就会增加，电流会向传感器的信号处理IC流动。距离增加时，情况则会相反。传感器可将主体的加速度转化为电流、电荷、电压三者之一从而进行测量。传感器元件元件内部有多个质量块，这些通过分散MEMS技术加工出的质量块被晶元表面周围的扭转弹簧支撑着。与表面MEMS工艺相比，厚度和重量都更大，从而可以实现高灵敏度和低噪音。

　　高频加速度传感器测量频率范围:

　　是指传感器在规定的频率响应幅值误差内传感器所能测量的频率范围。频率范围的高，低限分别称为高，低频截至频率。截至频率与误差直接相关，所允许的误差范围大则其频率范围也就宽。作为一般原则，传感器的高频响应取决于传感器的机械特性，而低频响应则由传感器和后继电路的综合电参数所决定。高频截止频率高的传感器必然是体积小，重量轻，反之用于低频测量的高灵敏度传感器相对来说则一定体积大和重量重。